특징 및 장점

• 내층 전용 전자동 LED 노광기
• 4개 CCD를 이용한 자동 얼라인먼트
• 라인/간격 50um/50um 구현
• 시간당 3kw이하 전력 소모
• 반 평행광 (5도) 광원 적용
• 테이블을 X, Y, θ로 구동하여 필름과 보드 간 얼라인먼트
• 리니어 모터 적용으로 정밀하고 안정된 구동 보장
• 이송 롤러에 대한 비접촉 자기 구동 세계 최초 통합 노광기 설계