특징 및 장점

• 내층, 외층 전용 노광기
• 4개 CCD 를 이용한 자동 얼라인먼트
• LED 광원 적용
• 50um / 50um 회로 구현
• 저전력 소모 (3kw/시간 이하)
• 리눅스 시스템 및 스마트 제어
• 15” LCD 터치 스크린
• 서보 드라이브 시스템 및 얼라인먼트 시스템
• 온습도 관리를 위한 자동 제어 시스템
• 빛 누출 방지 / 안전 센서 적용